广州某半导体设备心片手工设备厂，晶圆进行清理环节中带来含硅、氟的特定化工废液，设计制作进行清理企业规模1200吨/日。化工废液营养成分复杂化，富含奈米级硅颗粒状及氢氧化钠，传统文化进行清理步骤难符合标准。 污废水 的成分及的来源 常见环保问题物 ：悬浊液硅（100-500nm孔径）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源工艺程序 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP电化学机制打磨生活污水（40%）、专用设备洗水（15%） 处置生产技术注意事项 创新发展使用"物理滤渣+特种车辆膜离心分离"系统途径： 钙盐沉定 ：加药氯化钙避开氟阳离子（转化成CaF2石雕文化沉淀） 斜板沉淀池反应迟钝 ：混合二沉池剂改变氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜挪用微细粒状 反加入系统化 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 多效蒸发析出 ：浓水段控制氟化物零摆放 不可能体验 氟化物浓度值：<8mg/L（降至欧洲国家1阶段标淮10mg/L） 硅含量的：<5mg/L 水資源造纸废水处理率：70%应用于待密闭式冷却塔保湿补水 危险废弃物减药：蒸馏沉渣量较传统化技艺削减60%