某半导体技术手工制造的企业因晶圆除垢工艺流程导致含氨化工废水，出水量200吨/天。化工废水里面的除氟化物外还具有刺激性氟化物和氢化物发生器血本属，正确处理等级大。当地的进行排放标准的耍求单位耍求氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水成分表及來源 晶圆进行维护清洁废水处理（关键起源）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀环节污废水 ：含进样器铜、镍等天价属，pH值上下波动大 CMP精磨生产废水：含硅颗粒剂及氟化物 加工处理加工制作工艺 方案 选取"催化水解+膜剥离 +折点氯化"组成新工艺： 预治理 ：加药CaCl2除氟，抑制pH在7.5-8. 超滤膜系统的 ：弄掉0.01μm大于颗粒剂物 反融入浓缩咖啡 ：将氟化物精提至1000mg/L超过 折点氯化 ：明确抑制氯添加量，将氟化物导出为氢气 阴阳离子传递 ：质量保障高价属标准 进而结果 挥发酚安全稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属分量如果低于检侧限 水中水回用率达75% 淤泥产生量才能减少40%