某半导体处里器处里器制作厂在晶圆加工生产时候中,运行硅烷去硅本质发育,空气洗涤剂塔引起高密度含硅电镀废水处里工艺。电镀废水处里工艺含有pH下降大(2-11)、硅水平高的的特点,传统与现代处里的方法易存在硅垢淤塞间题。
工业废水组成及来历
电镀废水具体因素为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L
氢氧化反应钾/氢氧化反应钠
:洗滌塔酸碱度洗滌液余留
颗料硅
:奈米级SiO₂固体
痕量砷
:配料钙镁离子带进去
工作生产技术步骤
创新发展主要包括"多级中合+膜滤过+蒸馏晶体"施工工艺:
6级结合
:用CaO改善pH至4-5,形成硅酸钙悠长岁月中,硅我们要除率60%。
中级与
:加Na₂CO₃将pH提拔至9,进那步水解乘余硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜机系统
:0.02μm工业陶瓷膜脱水微米级硅顆粒,通量安稳在80LMH。
MVR多效空调冷凝器
:浓缩咖啡高盐电镀废水,晶体出Na₂SO₄副护肤品,水造纸废水处理率超90%。
进而特效
总硅从1500mg/L降落到5mg/L下
砷含水量从0.8mg/L下降0.01mg/L
控制系统无积垢执行超2年
一年回笼盐酸钠晶胞约800吨