该晶圆种植的九正通明在华东位置位置,包括种植的85英寸半导晶圆,每日焦化废水产生量约800吨。伴随种植的具体步骤中在使用很大盐酸实行晶圆蚀刻,会导致焦化废水里面的氟化物密度高至200-300mg/L,远超政府产生标淮(10mg/L之下)。
焦化废水部分及种类
废水处理方法其主要发源三关键点:
晶圆蚀刻工步
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸铵及一定量天价属
有机化学机戒增加光泽(CMP)废污水
:含nm级硅颗粒肥料、生物碳络合剂
设配除污废水处理
:含异丙醇、化学需氧量等巧妙物
治理 制作工艺工艺
采取"化学上的乳浊液+混泥土乳浊液+深度1净化"三级视频进行处理系统软件:
第一工作
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,成型氟化钙结晶,氟化物清理率达85%
二次元处理
:加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),清除溶液态废弃物物
两级加工
:经过多导电介质压滤机器和几丁质酶炭降解,水流氟化物质量浓度稳定的在8mg/L下类
要素仪器具有:pH全自动调试机系统、斜管积累池、板框压滤机厂家(污泥处理脱水情况)。
从而郊果
投资项目启动五年监测系统数据文件体现 :
氟化物评均氧浓度:7.2mg/L(远低于祖国要求)
COD我们要除率:92%
活性污泥含水分率:≤65%
年收售氟化钙副护肤品约150吨,达成自然综合采取采取