半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品图片背景
该的单位为国际领跑的半导体行业测封的单位,处于珠三边形地段,基本实行高性价比存储芯片的片区和装封检验。考虑到地区节能环保需求标准,的单位来决定实现废气零的排放建设顶目。顶目于22年无法,202五年6月投入使用动工,清理占比为200吨/日,总股权投资约2000亿元。
废水处理工艺组分及的来源
本次必要性小学划片生产废水含有左右的特点:
高溶液密度氟化物,其主要来源晶圆水刀切割后的擦拭制作工序,氟阴离子溶液密度高达独角兽150-200mg/L
所含奈米级硅粉粒子,比表面积多在100-500nm之中
充分加热器端差较高,COD在500-800mg/L
富含进样器血本属如铅、镉等
电阻率高,一般来说在2000-3000μS/cm
外理新工艺工作流程
为做到零直接排放计划,流程设计的概念突出了解废水处理工艺进行分类搜集和产品回收处理:
废液等级分类获得软件系统
:将含氟废气与其他的废气分类建立回收
催化沉积除氟
:选择二级钙盐沉积法,配合默契高沉积池
精致被氧化加工
:三氧催化反应被氧化可降解难加工处理有机肥料物
膜浓缩提炼机系统
:所采用DTRO碟管式反融入,原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 数倍为10倍
蒸发掉成果
:MVR自动化设备液体再缩小真空泵器除理浓水
皮肤干燥平台
:将心得盐晾干后是工业品副车辆外售
工作使用效果
设备进行数据分析提示:
氟化物除掉率>99.9%,留水氟铁离子<1mg/L
COD总洗去率>98%,冒水COD<20mg/L
水状况量的回收利用率>95%,仅造成少量的成果盐
每月回收塑料并高好品质中水回用水约16万吨
沉淀盐饱和度符合工业园级要求,达成的循环经济充分利用
好项目并不是建立了污废水 0排放口,还完成教育资源收购 创设了约80万多/年的增加效率。