活动经验
某大半导体技术制造厂工业工厂坐落长三边形省市,其主要出产晶圆和IC芯片。在出产过程中 中,晶圆切开和镜面抛光时间段导致大批量粉磨液生产废水,日访问量摆股票放量约50吨。随着生产废水下包含高盐浓度悬屏物、金属质阳离子及有机质插入剂,可以直接摆放会对学习环境致使重要破坏,工业工厂紧缺投建工程专业处置设备。
化工废水成分表及源头
磨研液生产废水最通常源头于晶圆制造中的催化机制打蜡 (CMP)流程,最通常造成的工业废气主要包括:
飘浮粒状物
:二空气氧化的硅、空气氧化的铝等研磨机粉末,比表面积在0.1-1μm,浓硫酸浓度高达mg2000mg/L。
轻金属阴阳离子
:铜、铁、锌等,来源镜面抛光垫损耗及晶圆表明金属制层,铜铁离子氧化还原电位约50mg/L。
可挥发使用剂
:比如表面上生物剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性有害物质
:pH值起伏大,普通在2-11直接。
办理加工过程具体流程
共性废渣特征,适用“预整理+生化学+深入整理”三人组合生产工艺:
改善池
:义均水质检测用水量,含有腐蚀性控制pH至中性粒细胞。
混凝土沉淀出的
:添加PAC(配位聚铝)和PAM(PP酰胺),祛除悬停物和悬浊液,沉降后SS祛除率>90%。
崔化空气氧化
:用到Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)挥发有机化学加剂,COD删去率达60%。
海洋生物工作
:MBR膜菌物作用器进这一步光降解超过设计物,COD减少为100mg/L下。
亚铁离子相互交换
:专门环氧树脂过滤铜阴离子,有水出铜含锌量<0.5mg/L。
砂滤+催化活性碳净化
:狠抓溢水清辙,提升《工业废水綜合尾气排放要求要求》(GB8978-1996)四级要求。
决定性成果
整体开机运行不稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
工业废水处理方法处理率达40%,剩余时间及格减排,年避免废水处理方法减排1.5万吨。
解决成本价约15元/吨,远超过该行业的平均。